WF6 wordt voornamelijk gebruikt als grondstof voor het chemische dampdepositieproces (CVD) van metaalwolfraam in de elektronica-industrie. WSi2, gemaakt van WF6, kan worden gebruikt als bedradingsmateriaal in grootschalige geïntegreerde schakelingen (LSI) en kan ook worden gebruikt als grondstof voor halfgeleiderelektroden, fluor, grondstoffen voor chemische middelen, polymerisatiekatalysatoren, optische materialen, enz.